評價報告編號No：皖安評20211100121

項目名稱

南大光電半導(dǎo)體材料有限公司年產(chǎn)433噸前驅(qū)體和合金材料

產(chǎn)業(yè)化項目（一期）安全條件評價報告

項目簡介

評價對象：南大光電半導(dǎo)體材料有限公司

項目類型：安全條件評價報告

項目內(nèi)容：

南大光電半導(dǎo)體材料有限公司（以下簡稱“南大光電半導(dǎo)體公司”）成立于2019年1月10日，是由江蘇南大光電材料股份有限公司投資的全資子公司，位于安徽省滁州市全椒縣十字鎮(zhèn)十譚產(chǎn)業(yè)園新城大道117號，企業(yè)性質(zhì)為股份有限責(zé)任公司，法定代表人馮劍松，該公司以高新技術(shù)光電子及微電子材料的研究、開發(fā)、生產(chǎn)、銷售為主，主要生產(chǎn)高純磷烷、高純砷烷等高純電子材料產(chǎn)品。

南大光電現(xiàn)已建成年產(chǎn)170噸MO源和高K三甲基鋁項目（一期），并通過驗收取得安全生產(chǎn)許可證，編號：（皖M）WH安許證字[2020]G29號，許可范圍：三甲基鋁(HK)100t/a、三甲基鋁(OPTO)5t/a，有效期至2023年12月14日。

（1）項目建設(shè)內(nèi)容

本項目不新增任何建筑物，均為依托。

本項目擬在已建廠房A1車間內(nèi)中部1～4層預(yù)留位置建設(shè)年產(chǎn)20噸的六氯乙硅烷（HCDS）生產(chǎn)線1條、年產(chǎn)10噸的四氯化鈦（TiCl4）生產(chǎn)線1條、年產(chǎn)120噸的正硅酸乙酯（TEOS）生產(chǎn)線1條、年產(chǎn)2噸的三氯化鋁（AlCl3）生產(chǎn)線2條、年產(chǎn)1噸的四氯化鉿（HfCl4)生產(chǎn)線1條、年產(chǎn)1噸的三氯化銦（InCl3)生產(chǎn)線1條和年產(chǎn)1噸的（3，3-二甲基-1-丁炔）六羰基二鈷（CCTBA）生產(chǎn)線1條。

本項目擬在待建A5車間內(nèi)西部1層預(yù)留位置建設(shè)年產(chǎn)55噸的鎵鎂合金（鎵60%、鎂40％）破碎生產(chǎn)線1條、年產(chǎn)5噸的銦鎂合金（銦55%、鎂45％）破碎生產(chǎn)線1條。

其他公輔工程（如供電系統(tǒng)、消防水系統(tǒng)、給排水系統(tǒng)、供熱系統(tǒng)、壓縮空氣系統(tǒng)、氮氣、氬氣系統(tǒng)等）均依托廠區(qū)現(xiàn)有的公輔工程。

（2）項目前期備案、安全審批情況

2022年1月24日，滁州市全椒縣經(jīng)信局出具了本項目《備案表》（編號：2110-341124-07-02-641989），確定南大光電半導(dǎo)體材料有限公司年產(chǎn)433噸前驅(qū)體和合金材料產(chǎn)業(yè)化項目分兩期建設(shè)。

一期建設(shè)：鎵鎂合金（鎵60%、鎂40%）破碎產(chǎn)線，年產(chǎn)能為55噸；銦鎂合金（銦55%、鎂45%）破碎產(chǎn)線，年產(chǎn)能為5噸；六氯乙硅烷（HCDS）產(chǎn)線，年產(chǎn)能為20噸；四氯化鈦（TiCl4）產(chǎn)線，年產(chǎn)能為10噸；正硅酸乙酯（TEOS）1條產(chǎn)線，年產(chǎn)能為120噸；三氯化鋁（AlCl3）2條產(chǎn)線，年產(chǎn)能為2噸；四氯化鉿（HfCl4)1條產(chǎn)線，年產(chǎn)能為1噸；三氯化銦（InCl3)1條產(chǎn)線，年產(chǎn)能為1噸；(3，3-二甲基-1-丁炔）六羰基二鈷(CCTBA)1條產(chǎn)線，年產(chǎn)能為1噸。

二期建設(shè)：二乙氧基甲基硅烷（DEMS）產(chǎn)線，年產(chǎn)能為20噸；a-松油烯（ATRP）產(chǎn)線，年產(chǎn)能為20噸；四甲基硅烷（4MS）產(chǎn)線，年產(chǎn)能為20噸；正硅酸乙酯（TEOS）1條產(chǎn)線，年產(chǎn)能為120噸；八甲基環(huán)四硅氧烷（OMCTS）產(chǎn)線，年產(chǎn)能為20噸；雙（二乙基胺基）硅烷（BDEAS）產(chǎn)線，年產(chǎn)能為10噸；三乙基鋁（TEA）產(chǎn)線，年產(chǎn)能為1噸；吡啶（C5H5N）產(chǎn)線，產(chǎn)能為1噸；辛烷（OCTANE）產(chǎn)線，年產(chǎn)能為1噸；四（二甲基胺基）鈦（TDMAT）產(chǎn)線，年產(chǎn)能為2噸；1，1，1-三（二甲胺基）乙硅烷（TADS）產(chǎn)線，年產(chǎn)能為1噸；三（二甲胺基）硅烷（TDMAS）產(chǎn)線，年產(chǎn)能為2噸。

（3）主要技術(shù)、工藝水平對比情況

本項目前驅(qū)體產(chǎn)品的提純工藝為液體精餾提純、固體升華提純，不涉及化學(xué)反應(yīng)過程。工藝技術(shù)來源于同一集團(tuán)公司旗下的全椒南大光電材料有限公司，雙方簽訂技術(shù)轉(zhuǎn)讓協(xié)議，全椒南大光電材料有限公司將擁有的正硅酸乙酯（TEOS）、六氯乙硅烷（HCDS）和四氯化鈦（TiCl4）等前驅(qū)體材料的提純、升華技術(shù)工藝包轉(zhuǎn)讓于南大光電半導(dǎo)體材料有限公司（技術(shù)轉(zhuǎn)讓協(xié)議見附件6），并提供技術(shù)指導(dǎo)，該技術(shù)已經(jīng)在全椒南大光電材料有限公司生產(chǎn)多年，工藝成熟可靠，不屬于國內(nèi)首次使用工藝。

本項目合金材料僅通過破碎設(shè)備進(jìn)行粉碎，過程采用氬氣作為保護(hù)氣。該工藝過程為物理性狀變化不涉及化學(xué)反應(yīng)，為國內(nèi)通用的金屬粉碎工藝，工藝技術(shù)安全可靠。

依據(jù)《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2019年本）》（發(fā)改委令第29號，2021年修訂），本項目屬于“鼓勵類”；第二十八項、信息產(chǎn)業(yè)中，第22條：半導(dǎo)體、光電子器件、新型電子元器件（片式元器件、電力電子器件、光電子器件、敏感元器件及傳感器、新型機(jī)電元件、高頻微波印制電路板、高速通信電路板、柔性電路板、高性能覆銅板等）等電子產(chǎn)品用材料類。

依據(jù)《國家安全監(jiān)管總局關(guān)于印發(fā)淘汰落后安全技術(shù)裝備目錄（2015年第一批）的通知》（安監(jiān)總科技〔2015〕75號）、《國家安全監(jiān)管總局關(guān)于印發(fā)淘汰落后安全技術(shù)工藝、設(shè)備目錄（2016年）的通知》（安監(jiān)總科技〔2016〕137號）、《推廣先進(jìn)與淘汰落后安全技術(shù)裝備目錄（第二批）》（國家安全生產(chǎn)監(jiān)督管理總局、中華人民共和國科學(xué)技術(shù)部、中華人民共和國工業(yè)和信息化部公告〔2017〕第19號）、《應(yīng)急管理部辦公廳關(guān)于印發(fā)淘汰落后危險化學(xué)品安全生產(chǎn)工藝技術(shù)設(shè)備目錄（第一批）的通知》（應(yīng)急廳〔2020〕38號），《限期淘汰產(chǎn)生嚴(yán)重污染環(huán)境的工業(yè)固體廢物的落后生產(chǎn)工藝設(shè)備名錄》（中華人民共和國工業(yè)和信息化部公告2021年第25號），本項目擬采用的生產(chǎn)工藝設(shè)備未列入落后淘汰類生產(chǎn)工藝裝備。

依據(jù)《安徽省應(yīng)急管理廳關(guān)于嚴(yán)格控制高風(fēng)險危險化學(xué)品建設(shè)項目的通知》皖應(yīng)急〔2021〕89號，高風(fēng)險危險化學(xué)品項目（簡稱“高風(fēng)險項目”）包括：光氣生產(chǎn)企業(yè)，涉及光氣化、硝化、重氮化、偶氮化工藝以及硝酸銨、硝酸胍、硝基苯系物、硝化纖維素、氯酸鉀、氯酸鈉等爆炸性化學(xué)品的項目。本項目生產(chǎn)工藝不涉及光氣化、硝化、重氮化、偶氮化工藝；主要原輔材料不涉及硝酸銨、硝酸胍、硝基苯系物、硝化纖維素、氯酸鉀、氯酸鈉等爆炸性化學(xué)品，故本項目不屬于高風(fēng)險危險化學(xué)品項目。

依據(jù)《國家安全監(jiān)管總局辦公廳關(guān)于具有爆炸危險性危險化學(xué)品建設(shè)項目界定標(biāo)準(zhǔn)的復(fù)函》（安監(jiān)總廳管三函〔2014〕5號），本項目原料正硅酸乙酯（TEOS）等易燃液體的蒸氣能與空氣形成爆炸性混合物，因此本項目為具有爆炸危險性的建設(shè)項目。

依據(jù)《國家安全監(jiān)管總局關(guān)于加強(qiáng)精細(xì)化工反應(yīng)安全風(fēng)險評估工作的指導(dǎo)意見》（安監(jiān)總管三〔2017〕1號），《關(guān)于聚焦“一防三提升”開展危險化學(xué)品安全生產(chǎn)集中治理整頓工作的通知》（皖應(yīng)急[2021]74號），本項目生產(chǎn)工藝不涉及重點監(jiān)管危險化工工藝和金屬有機(jī)物合成反應(yīng)（包括格氏反應(yīng)）的間歇和半間歇反應(yīng)。

依據(jù)《國家安全監(jiān)管總局關(guān)于公布首批重點監(jiān)管的危險化工工藝目錄的通知》（安監(jiān)總管三〔2009〕116號）、《國家安全監(jiān)管總局關(guān)于公布第二批重點監(jiān)管危險化工工藝目錄和調(diào)整首批重點監(jiān)管危險化工工藝中部分典型工藝的通知》（安監(jiān)總管三〔2013〕3號），本項目不涉及危險化工工藝。

依據(jù)《國家安全監(jiān)管總局關(guān)于公布首批重點監(jiān)管的危險化學(xué)品名錄的通知》（安監(jiān)總管三〔2011〕95號）和《國家安全監(jiān)管總局關(guān)于公布第二批重點監(jiān)管危險化學(xué)品名錄的通知》（安監(jiān)總管三〔2013〕12號），本項目涉及的四氯化鈦屬于首批重點監(jiān)管的危險化學(xué)品。

依據(jù)《危險化學(xué)品目錄》（2015年版）辨識，本項目不涉及劇毒化學(xué)品。

依據(jù)《易制毒化學(xué)品管理條例》（中華人民共和國國務(wù)院令第445號）、《非藥品類易制毒化學(xué)品生產(chǎn)、經(jīng)營許可辦法》（國家安全生產(chǎn)監(jiān)督管理總局令第5號）、《國務(wù)院辦公廳關(guān)于同意將N-苯乙基-4-哌啶酮、4-苯胺基-N-苯乙基哌啶、N-甲基-1-苯基-1-氯-2-丙胺、溴素、1-苯基-1-丙酮列入易制毒化學(xué)品品種目錄的函》（國辦函〔2017〕120號）和《國務(wù)院辦公廳關(guān)于同意將α-苯乙酰乙酸甲酯等6種物質(zhì)列入易制毒化學(xué)品品種目錄的函》（國辦函〔2021〕58號）辨識，本項目不涉及易制毒化學(xué)品。

依據(jù)《高毒物品目錄》（2003年版）辨識，本項目不涉及高毒化學(xué)品。

依據(jù)《易制爆危險化學(xué)品名錄》（2017年版）辨識，本項目原料鎂屬于易制爆危險化學(xué)品。

依據(jù)《各類監(jiān)控化學(xué)品名錄》（中華人民共和國工業(yè)和信息化部令第52號）辨識，本項目不涉及監(jiān)控化學(xué)品。

依據(jù)《特別管控危險化學(xué)品目錄（第一版）》辨識（應(yīng)急管理部、工業(yè)和信息化部、公安部、交通運輸部公告2020年第1號），本項目不涉及特別管控危險化學(xué)品。

參照《工貿(mào)行業(yè)重點可燃性粉塵目錄（2015版）》和《工貿(mào)行業(yè)可燃性粉塵作業(yè)場所工藝設(shè)施防爆技術(shù)指南（試行）》辨識，本項目產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)銦鎂合金粉、鎵鎂合金粉粒徑為1.3～1.6cm（見附件7：企業(yè)提供銦鎂合金粉、鎵鎂合金粉粒產(chǎn)品合格標(biāo)準(zhǔn)），本項目鎂合金粉的粒徑遠(yuǎn)大于鎂合金粉的爆炸性粉塵中位徑（21μm），故不屬于目錄中爆炸危險性相對較高的可燃性粉塵。

項目組

項目組長

羅健（安全評價師、注冊安全工程師）

評價人員

及任務(wù)

祁冬東（安全評價師、注冊安全工程師）（收集資料、現(xiàn)場勘查、整改復(fù)查）

夏義定（安全評價師、注冊安全工程師）（現(xiàn)場勘查、危險有害因素辨識）

報告編制人

李祥兵（安全評價師、注冊安全工程師）

報告審核人

王斌（安全評價師、注冊安全工程師）

技術(shù)負(fù)責(zé)人

田莉娟（安全評價師、注冊安全工程師）

過程控制負(fù)責(zé)人

夏炎（安全評價師）

報告提交時間

2022年5月5日

現(xiàn)場照片